Optical characterization of ZnSe thin films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F03%3A00009333" target="_blank" >RIV/00216224:14310/03:00009333 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical characterization of ZnSe thin films

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper the optical method based on multisample modification variable angle spectroscopic ellipsometry (VASE) is used to characterize thin films of ZnSe prepared by molecular beam epitaxy onto GaAs single crystal substrates. It is found that this method can be employed for determining the spectral dependences of the optical constants and values of the thicknesses of the films mentioned. Moreover, it is shown that using this method the RMS values of the heights and the values of the correlation length characterizing roughness irregularities of the upper boundaries of the films can be determined as well. The application of the method is illustrated by means of characterizing six samples of the ZnSe-films exhibiting different values of the thicknesses.

Název v anglickém jazyce

Optical characterization of ZnSe thin films

Popis výsledku anglicky

In this paper the optical method based on multisample modification variable angle spectroscopic ellipsometry (VASE) is used to characterize thin films of ZnSe prepared by molecular beam epitaxy onto GaAs single crystal substrates. It is found that this method can be employed for determining the spectral dependences of the optical constants and values of the thicknesses of the films mentioned. Moreover, it is shown that using this method the RMS values of the heights and the values of the correlation length characterizing roughness irregularities of the upper boundaries of the films can be determined as well. The application of the method is illustrated by means of characterizing six samples of the ZnSe-films exhibiting different values of the thicknesses.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

19th Congress of the International Commission for Optics: Optics for the Quality of Life

ISBN

0-8194-4596-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

831-832

Název nakladatele

SPIE - The International Society for Optical Engineering

Místo vydání

Bellingham, Washington, USA

Místo konání akce

August 25-30, 2002, Florence, Italy

Datum konání akce

—

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—