Optická charakterizace dvojvrstev obsahující eptaxní ZnSe a ZnTe vrstvy
Popis výsledku
V tomto článkujsou presentovány výsledky optické charakterizace dvojvrstev sestávajících se z ZnTe a ZnSe vrstev připravených molekulární svazkovou epitaxií na podložky z monokrystalického GaAs. Pro optickou charakterizaci byla využita optická metoda založená na víceúhlové spektroskopické elipsometrii a téměř kolmé spektroskopické reflektometrii v podobě mnohavzorkové modifikace v rámci oblasti 230-850 nm. Užitím této metody jsou určeny spektrální závislosti optických konstant horních vrstev ZnTe uvnitřvýše zmíněné spetkrální oblasti. Spektrální závislosti optických konstant spodních vrstev ZnSe byly určeny v rámci spektrální oblasti 450-850 nm. Drsnost rozhraní je respektována. RMS hodnoty výšek nerovností rozhraní a tloušťky a optické konstanty povrchových vrstev jsou určeny pomocí kombinované metody rovněž. Horní rozhraní dvojvrstev jsou navíc analyzovány pomocí mikroskopie atomové síly kvůli ověření hodnot RMS těchto rozhraní obdržených pomocí optické metody. Spektrální závislosti
Klíčová slova
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Optical characterization of double layers containing epitaxial ZnSe and ZnTe films
Popis výsledku v původním jazyce
In this paper results of the optical characterisation of double layers consisting of ZnTe and ZnSe thin films prepared by molecular beam epitaxy onto GaAs single crystal substrates are presented. For this optical characterisation the optical method basedon combining variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry is used in multi-sample modification applied within the spectral region 230-850 nm. Using this method the spectral dependences of the optical constants ofthe upper ZnTe thin films are determined within the spectral region mentioned above. Spectral dependences of the optical constants of the lower ZnSe thin films were determined within the spectral region 450-850 nm. Boundary roughness of these double layers and overlayers is respected. RMS values of the heights of the irregularities of the boundaries and thicknesses and optical constants of the overlayers are determined by means of the combined optical method as well. The uppermost bound
Název v anglickém jazyce
Optical characterization of double layers containing epitaxial ZnSe and ZnTe films
Popis výsledku anglicky
In this paper results of the optical characterisation of double layers consisting of ZnTe and ZnSe thin films prepared by molecular beam epitaxy onto GaAs single crystal substrates are presented. For this optical characterisation the optical method basedon combining variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry is used in multi-sample modification applied within the spectral region 230-850 nm. Using this method the spectral dependences of the optical constants ofthe upper ZnTe thin films are determined within the spectral region mentioned above. Spectral dependences of the optical constants of the lower ZnSe thin films were determined within the spectral region 450-850 nm. Boundary roughness of these double layers and overlayers is respected. RMS values of the heights of the irregularities of the boundaries and thicknesses and optical constants of the overlayers are determined by means of the combined optical method as well. The uppermost bound
Klasifikace
Druh
Jx - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2005
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Journal of Modern Optics
ISSN
0950-0340
e-ISSN
—
Svazek periodika
52
Číslo periodika v rámci svazku
4
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
20
Strana od-do
583-602
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—
Druh výsledku
Jx - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Rok uplatnění
2005