Optické vlastnosti diamantu podobných uhlíkových vrstev obsahujících SiOx studované kombinovanou optickou metodou spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00010137" target="_blank" >RIV/00216224:14310/04:00010137 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical Properties of Diamond-Like Carbon Films Containing SiOx Studied by the Combined Method of Spectroscopic Ellipsometry and Spectroscopic Reflectometry

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper the results of the study of the optical properties of diamond like carbon films with different amount of SiOx prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition from a mixture of metane and hexamethyldisiloxane onto silicon substrates will be presented. These results have been obtained using the combined method based on a simultaneous interpretation of experimental data achieved with variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry within the near-UVand visible regions. For interpreting the experimental data our new dispersion model of the optical constants based on the parameterization of the density of electronic states has been employed. Within this model the new analytical three parameter dispersion formula has been derived. These three parameters are proportional to the pi and sigma valence electron densities.

Název v anglickém jazyce

Optical Properties of Diamond-Like Carbon Films Containing SiOx Studied by the Combined Method of Spectroscopic Ellipsometry and Spectroscopic Reflectometry

Popis výsledku anglicky

In this paper the results of the study of the optical properties of diamond like carbon films with different amount of SiOx prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition from a mixture of metane and hexamethyldisiloxane onto silicon substrates will be presented. These results have been obtained using the combined method based on a simultaneous interpretation of experimental data achieved with variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry within the near-UVand visible regions. For interpreting the experimental data our new dispersion model of the optical constants based on the parameterization of the density of electronic states has been employed. Within this model the new analytical three parameter dispersion formula has been derived. These three parameters are proportional to the pi and sigma valence electron densities.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Thin Solid Films

ISSN

0040-6090

e-ISSN

—

Svazek periodika

455-456

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

393-398

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—