Depozice polymerních vrstev v rf výboji za atmosférického tlaku

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00019762" target="_blank" >RIV/00216224:14310/04:00019762 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Deposition of polymer films by rf discharge at atmospheric pressure

Popis výsledku v původním jazyce

RF plasma nozzle at atmospheric pressure has been used for deposition of thin films. The mechanical properties of deposited films were studied using indentation technique. Special properties of RF discharges offer hopeful technological applications likedeposition of thin solid films. The parameters of the plasma were investigated by spectral and optical methods. The powered RF electrode of the torch discharge plasma source is made from the metal or dielectric pipe with an inner diameter of 1 - 2 mm andwith a length of several centimeters. The electrode is connected through the matching unit to the RF generator driven at the frequency of 13.56 MHz. The mixture of argon and n-hexane or HMDSO (hexamethyldisiloxane, C6H18Si2O) gas ows through the RF electrode at the pipe. Polymer films were deposited on the several substrates e.g. glass, brass polished plates and Si wafers.

Název v anglickém jazyce

Deposition of polymer films by rf discharge at atmospheric pressure

Popis výsledku anglicky

RF plasma nozzle at atmospheric pressure has been used for deposition of thin films. The mechanical properties of deposited films were studied using indentation technique. Special properties of RF discharges offer hopeful technological applications likedeposition of thin solid films. The parameters of the plasma were investigated by spectral and optical methods. The powered RF electrode of the torch discharge plasma source is made from the metal or dielectric pipe with an inner diameter of 1 - 2 mm andwith a length of several centimeters. The electrode is connected through the matching unit to the RF generator driven at the frequency of 13.56 MHz. The mixture of argon and n-hexane or HMDSO (hexamethyldisiloxane, C6H18Si2O) gas ows through the RF electrode at the pipe. Polymer films were deposited on the several substrates e.g. glass, brass polished plates and Si wafers.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Czech. J. Phys.

ISSN

0011-4626

e-ISSN

—

Svazek periodika

2004

Číslo periodika v rámci svazku

54

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

"C586"-"C591"

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—