Omezení pechodového režimu pi pulzním magnetronovém naprašování

Kód výsledku v IS VaVaI

RIV/00216224:14310/05:00012968 - isvavai.cz

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Reduction of transient regime in fast preionized high power pulsed magnetron discharge

Popis výsledku v původním jazyce

A high-power pulsed-magnetron discharge (several kW/cm2)is described. It operates at pulse duration of the order of few ľs, signicantly shorter than in usual similar devices. The breakdown delay was reduced by using a low-current DC preionization. The study was performed for Cu target in Ar and He buer gases by optical emission spectroscopy and electrical measurements. Saturation magnetron current is reached in a few ľs which permits to shorten the pulse duration avoiding arc formation. Unusual high current density up to 10A/cm2 induces very fast transition toward the stable self-sputtering regime. High plasma density favours high ion ux to the substrate. Preliminary result on Cu deposit in trenches is reported.

Název v anglickém jazyce

Reduction of transient regime in fast preionized high power pulsed magnetron discharge

Popis výsledku anglicky

A high-power pulsed-magnetron discharge (several kW/cm2)is described. It operates at pulse duration of the order of few ľs, signicantly shorter than in usual similar devices. The breakdown delay was reduced by using a low-current DC preionization. The study was performed for Cu target in Ar and He buer gases by optical emission spectroscopy and electrical measurements. Saturation magnetron current is reached in a few ľs which permits to shorten the pulse duration avoiding arc formation. Unusual high current density up to 10A/cm2 induces very fast transition toward the stable self-sputtering regime. High plasma density favours high ion ux to the substrate. Preliminary result on Cu deposit in trenches is reported.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

GD202/03/H162: Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Europhysics Letters

ISSN

0295-5075

e-ISSN

—

Svazek periodika

72

Číslo periodika v rámci svazku

3

Stát vydavatele periodika

FR - Francouzská republika

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

390-395

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—