Optická charakterizace tenkých vrstev PZT deponovaných sol-gel metodou pomocí spektroskopické elipsometrie a měření odrazivosti v blízké UV a viditelé oblasti

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00014764" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00014764 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper the results concerning the optical characterization of the PZT film are presented. The multi-sample modification of the optical method based on combining variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometryis used to obtain the spectral dependences of the optical constants of this film within the spectral region 190-1000 nm. Within the near-UV region the sharp features of the spectral dependences of the optical constants are found. These features are explained by the existence of the narrow bands of the 4d and 3d valence electrons of the transition metals Zr and Ti. Within the optical characterization of the PZT film the defects consisting of boundary roughness and refractive index profile are respected.

Název v anglickém jazyce

Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions

Popis výsledku anglicky

In this paper the results concerning the optical characterization of the PZT film are presented. The multi-sample modification of the optical method based on combining variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometryis used to obtain the spectral dependences of the optical constants of this film within the spectral region 190-1000 nm. Within the near-UV region the sharp features of the spectral dependences of the optical constants are found. These features are explained by the existence of the narrow bands of the 4d and 3d valence electrons of the transition metals Zr and Ti. Within the optical characterization of the PZT film the defects consisting of boundary roughness and refractive index profile are respected.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Applied Surface Science

ISSN

0169-4332

e-ISSN

—

Svazek periodika

244

Číslo periodika v rámci svazku

1-4

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

338-342

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—