Optická charakterizace tenkých vrstev TiO2 pomocí kombinované metody spektroskopické elipsometrie a spektroskopické fotometrie

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00014797" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00014797 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical Characterization of TiO2 Thin Films by the Combined Method of Spectroscopic Ellipsometry and Spectroscopic Photometry

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper, results concerning the optical characterization of TiO2 thin films prepared by magnetron sputtering onto K64 glass plane-parallel plates are presented. The spectral dependences of the refractive index and extinction coefficient of these TiO2 thin films are introduced within the spectral region 230-1000 nm. For determining the values of these optical constants the method based on a combination of variable angle spectroscopic ellipsometry and spectroscopic photometry employing experimentaldata, of the transmittance and reflectances measured from both the sides of the films is used. For treatment of all the experimental data, the method utilizing Cauchy and Urbach formulae together with the single-wavelength method is employed. It is shownthat the TiO2 films studied are homogeneous in refractive index and uniform in thickness. Moreover, the values of roughness parameters of the upper boundaries of the TiO2 films are determined. Furthermore, it is shown that the band gap v

Název v anglickém jazyce

Optical Characterization of TiO2 Thin Films by the Combined Method of Spectroscopic Ellipsometry and Spectroscopic Photometry

Popis výsledku anglicky

In this paper, results concerning the optical characterization of TiO2 thin films prepared by magnetron sputtering onto K64 glass plane-parallel plates are presented. The spectral dependences of the refractive index and extinction coefficient of these TiO2 thin films are introduced within the spectral region 230-1000 nm. For determining the values of these optical constants the method based on a combination of variable angle spectroscopic ellipsometry and spectroscopic photometry employing experimentaldata, of the transmittance and reflectances measured from both the sides of the films is used. For treatment of all the experimental data, the method utilizing Cauchy and Urbach formulae together with the single-wavelength method is employed. It is shownthat the TiO2 films studied are homogeneous in refractive index and uniform in thickness. Moreover, the values of roughness parameters of the upper boundaries of the TiO2 films are determined. Furthermore, it is shown that the band gap v

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Vacuum

ISSN

0042-207X

e-ISSN

—

Svazek periodika

80

Číslo periodika v rámci svazku

1-3

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

159-162

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—