Surfatronový výboj tryskového provedení - konstrukce a diagnostika

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00021650" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00021650 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Surfatron Plasma Source of Jet Type - Construction and Diagnostics

Popis výsledku v původním jazyce

A plasma source based on surfatron was developed and subjected to detailed diagnostics with the aim of future technological applications e.g. surface activation, biomedical application, plasma sterilisation etc. The surfatron powered by a microwave magnetron generator working at frequency 2.45 GHz in the output power range 0 - 300 W created plasma from the flowing gas in a quartz tube which is inserted into the surfatron body (resonator cavity). The total gas flow rate was kept constant at 600 sccm butthe ratio of individual gas components flow was varied. Mixtures of Ar (carrier gas) and N2 or O2 (reactive gases) are investigated mainly. The paper is focused on plasma diagnostics made by means of probe measurement (single and double probe technique)and optical emission spectroscopy. Basic plasma parameters are discussed as radial, axial, power and pressure dependences.

Název v anglickém jazyce

Surfatron Plasma Source of Jet Type - Construction and Diagnostics

Popis výsledku anglicky

A plasma source based on surfatron was developed and subjected to detailed diagnostics with the aim of future technological applications e.g. surface activation, biomedical application, plasma sterilisation etc. The surfatron powered by a microwave magnetron generator working at frequency 2.45 GHz in the output power range 0 - 300 W created plasma from the flowing gas in a quartz tube which is inserted into the surfatron body (resonator cavity). The total gas flow rate was kept constant at 600 sccm butthe ratio of individual gas components flow was varied. Mixtures of Ar (carrier gas) and N2 or O2 (reactive gases) are investigated mainly. The paper is focused on plasma diagnostics made by means of probe measurement (single and double probe technique)and optical emission spectroscopy. Basic plasma parameters are discussed as radial, axial, power and pressure dependences.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

WDS '05 Proceedings of Contributed Papers

ISBN

80-86732-59-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

319-324

Název nakladatele

MFF UK Praha

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Praha, Czech Republic

Datum konání akce

7. 5. 2005

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—