Precise measurement of thickness distribution of non-uniform thin films by imaging spectroscopic reflectometry

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F09%3A00030121" target="_blank" >RIV/00216224:14310/09:00030121 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/48399108:_____/09:#0000013 RIV/00216305:26210/09:PU83316

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Precise measurement of thickness distribution of non-uniform thin films by imaging spectroscopic reflectometry

Popis výsledku v původním jazyce

A new method of imaging spectroscopic photometry enabling us to perform the complete optical characterization of thin films exhibiting area non-uniformity in optical parameters is presented. An original imaging spectroscopic photometer operating in the reflection mode at normal incidence is used to apply this method. A CCD camera serves as a detector in this photometer. Therefore the spectral dependences of the reflectance of the films characterized are simultaneously measured in small areas of the films surface corresponding to the individual pixels of the CCD camera. These areas form a matrix along a relatively large part of the films surface. The spectral reflectance measured by the individual pixels of the CCD camera is treated separately using theformulae for the reflectance corresponding to the uniform thin films. Using these formulae it is possible to determine the values of the local thickness and local optical constants for every small area of the matrix.

Název v anglickém jazyce

Precise measurement of thickness distribution of non-uniform thin films by imaging spectroscopic reflectometry

Popis výsledku anglicky

A new method of imaging spectroscopic photometry enabling us to perform the complete optical characterization of thin films exhibiting area non-uniformity in optical parameters is presented. An original imaging spectroscopic photometer operating in the reflection mode at normal incidence is used to apply this method. A CCD camera serves as a detector in this photometer. Therefore the spectral dependences of the reflectance of the films characterized are simultaneously measured in small areas of the films surface corresponding to the individual pixels of the CCD camera. These areas form a matrix along a relatively large part of the films surface. The spectral reflectance measured by the individual pixels of the CCD camera is treated separately using theformulae for the reflectance corresponding to the uniform thin films. Using these formulae it is possible to determine the values of the local thickness and local optical constants for every small area of the matrix.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of IMEKO XIX World Congress

ISBN

978-963-88410-0-1

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Název nakladatele

IMEKO

Místo vydání

Lisabon

Místo konání akce

Lisabon

Datum konání akce

1. 1. 2009

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—