Possibilities and limitations of imaging spectroscopic reflectometry in optical characterization of thin films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F15%3APU115455" target="_blank" >RIV/00216305:26210/15:PU115455 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/60162694:G43__/15:00531740 RIV/00216224:14310/15:00094363

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2191052" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1117/12.2191052</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2191052" target="_blank" >10.1117/12.2191052</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Possibilities and limitations of imaging spectroscopic reflectometry in optical characterization of thin films

Popis výsledku v původním jazyce

Imaging spectroscopic reflectometry (ISR) provides methods enabling us to perform an optical characterization of thin films non-uniform in optical parameters (e.g. in thickness). It measures spectral dependencies of a local reflectance at normal incidence of light belonging to small areas on these films (37x37 µm^2 in our case) imaged onto individual pixels of a CCD camera serving as a detector of a spectrophotometer. The local reflectance can mostly be expressed using formulas corresponding to a uniform thin film. There are three methods for treating ISR experimental data in the special case of thickness non-uniformity, i.e. in the case of the same optical constants along the whole area of the film: i) If optical constants of the non-uniform film are known, spectral dependencies of the local reflectance are used to determine a map of the local film thickness (one pixel method). ii) If optical constants are unknown, spectral dependencies of these constants are determined using standard spectroscopic

Název v anglickém jazyce

Possibilities and limitations of imaging spectroscopic reflectometry in optical characterization of thin films

Popis výsledku anglicky

Imaging spectroscopic reflectometry (ISR) provides methods enabling us to perform an optical characterization of thin films non-uniform in optical parameters (e.g. in thickness). It measures spectral dependencies of a local reflectance at normal incidence of light belonging to small areas on these films (37x37 µm^2 in our case) imaged onto individual pixels of a CCD camera serving as a detector of a spectrophotometer. The local reflectance can mostly be expressed using formulas corresponding to a uniform thin film. There are three methods for treating ISR experimental data in the special case of thickness non-uniformity, i.e. in the case of the same optical constants along the whole area of the film: i) If optical constants of the non-uniform film are known, spectral dependencies of the local reflectance are used to determine a map of the local film thickness (one pixel method). ii) If optical constants are unknown, spectral dependencies of these constants are determined using standard spectroscopic

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Optical Systems Design 2015: Optical Fabrication, Testing, and Metrology V

ISBN

9781628418170

ISSN

0277-786X

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

13

Strana od-do

"0R-1"-"0R-13"

Název nakladatele

Neuveden

Místo vydání

Neuveden

Místo konání akce

Jena

Datum konání akce

7. 9. 2015

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000366832100013