Measurement of the thickness distribution and optical constants of non-uniform thin films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F11%3A00050733" target="_blank" >RIV/00216224:14310/11:00050733 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00177016:_____/11:#0000385 RIV/00216305:26210/11:PU96417

Výsledek na webu

<a href="http://iopscience.iop.org/0957-0233/22/8/085104/" target="_blank" >http://iopscience.iop.org/0957-0233/22/8/085104/</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/22/8/085104" target="_blank" >10.1088/0957-0233/22/8/085104</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Measurement of the thickness distribution and optical constants of non-uniform thin films

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper, an original method for the complete optical characterization of thin films exhibiting area thickness non-uniformity is presented. This method is based on interpreting experimental data obtained using an original imaging spectroscopic photometer operating in the reflection mode at normal incidence of light. A CCD camera is employed as a detector of the photometer. The spectral dependences of the reflectance measured simultaneously by individual pixels of the CCD camera correspond to the local reflectance of small areas of the non-uniform thin films characterized. These areas form a matrix along a relatively large part of the substrate covered with the non-uniform film. The spectral dependences of the local reflectance measured by the individual pixels are treated separately by means of the formulae for the reflectance valid for uniform thin films.

Název v anglickém jazyce

Measurement of the thickness distribution and optical constants of non-uniform thin films

Popis výsledku anglicky

In this paper, an original method for the complete optical characterization of thin films exhibiting area thickness non-uniformity is presented. This method is based on interpreting experimental data obtained using an original imaging spectroscopic photometer operating in the reflection mode at normal incidence of light. A CCD camera is employed as a detector of the photometer. The spectral dependences of the reflectance measured simultaneously by individual pixels of the CCD camera correspond to the local reflectance of small areas of the non-uniform thin films characterized. These areas form a matrix along a relatively large part of the substrate covered with the non-uniform film. The spectral dependences of the local reflectance measured by the individual pixels are treated separately by means of the formulae for the reflectance valid for uniform thin films.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Measurement Science and Technology

ISSN

0957-0233

e-ISSN

—

Svazek periodika

22

Číslo periodika v rámci svazku

8

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

8

Strana od-do

"nestránkováno"

Kód UT WoS článku

000292775000006

EID výsledku v databázi Scopus

—