Understanding of hybrid PVD-PECVD deposition process ? titanium magnetron sputtering in argon and acetylene
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F11%3A00050094" target="_blank" >RIV/00216224:14310/11:00050094 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Understanding of hybrid PVD-PECVD deposition process ? titanium magnetron sputtering in argon and acetylene
Popis výsledku v původním jazyce
Hybrid PVD-PECVD process of titanium magnetron sputtering in argon and acetylene atmosphere combines aspects of both conventional techniques: sputtering of titanium target (PVD) and acetylene as a source of carbon for polymerization (PECVD). It has beenused for deposition of nanocomposite material consisting of nanocrystallites of titanium carbide embedded in hydrogenated carbon matrix (nc-TiC/a-C:H) which is an industrially attractive material for protective coatings. The aim of this contribution is to describe and understand elementary processes influencing the deposition process. Evolution of discharge voltage and current, pressure and selected spectral line intensities as a function of acetylene supply flow is reported.
Název v anglickém jazyce
Understanding of hybrid PVD-PECVD deposition process ? titanium magnetron sputtering in argon and acetylene
Popis výsledku anglicky
Hybrid PVD-PECVD process of titanium magnetron sputtering in argon and acetylene atmosphere combines aspects of both conventional techniques: sputtering of titanium target (PVD) and acetylene as a source of carbon for polymerization (PECVD). It has beenused for deposition of nanocomposite material consisting of nanocrystallites of titanium carbide embedded in hydrogenated carbon matrix (nc-TiC/a-C:H) which is an industrially attractive material for protective coatings. The aim of this contribution is to describe and understand elementary processes influencing the deposition process. Evolution of discharge voltage and current, pressure and selected spectral line intensities as a function of acetylene supply flow is reported.
Klasifikace
Druh
O - Ostatní výsledky
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů