Non-monotonous evolution of hybrid PVD ? PECVD process characteristics on hydrocarbon supply
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F13%3A00066489" target="_blank" >RIV/00216224:14310/13:00066489 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.05.014" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.05.014</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.05.014" target="_blank" >10.1016/j.surfcoat.2013.05.014</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Non-monotonous evolution of hybrid PVD ? PECVD process characteristics on hydrocarbon supply
Popis výsledku v původním jazyce
Hybrid PVD ? PECVD process of titanium sputtering in argon and acetylene atmosphere combines aspects of both conventional techniques: sputtering of titanium target (PVD) and acetylene as a source of carbon (PECVD). This process can be used for preparation of metal carbon nanocomposites (MeC/C(:H)) or DLC layers doped with metal (DLC:Me). The aim of this paper is to describe and understand elementary processes in fl uencing the hybrid PVD ? PECVD process. A non-monotonous dependence of cathode voltage and current, total pressure and spectral line intensities on acetylene supply fl ow is reported. Explanation of non- monotonous evolutions through the analysis of the target state correlating the process characteristics with properties of coatings preparedby this process is proposed.
Název v anglickém jazyce
Non-monotonous evolution of hybrid PVD ? PECVD process characteristics on hydrocarbon supply
Popis výsledku anglicky
Hybrid PVD ? PECVD process of titanium sputtering in argon and acetylene atmosphere combines aspects of both conventional techniques: sputtering of titanium target (PVD) and acetylene as a source of carbon (PECVD). This process can be used for preparation of metal carbon nanocomposites (MeC/C(:H)) or DLC layers doped with metal (DLC:Me). The aim of this paper is to describe and understand elementary processes in fl uencing the hybrid PVD ? PECVD process. A non-monotonous dependence of cathode voltage and current, total pressure and spectral line intensities on acetylene supply fl ow is reported. Explanation of non- monotonous evolutions through the analysis of the target state correlating the process characteristics with properties of coatings preparedby this process is proposed.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Surface & coatings technology
ISSN
0257-8972
e-ISSN
—
Svazek periodika
2013
Číslo periodika v rámci svazku
232
Stát vydavatele periodika
CH - Švýcarská konfederace
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
283-289
Kód UT WoS článku
000327691300037
EID výsledku v databázi Scopus
—