PECVD of nanostructured SiO2 in a modulated microwave plasma jet at atmospheric pressure

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F13%3A00068976" target="_blank" >RIV/00216224:14310/13:00068976 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/46/33/335202" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/46/33/335202</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/46/33/335202" target="_blank" >10.1088/0022-3727/46/33/335202</a>

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
PECVD of nanostructured SiO2 in a modulated microwave plasma jet at atmospheric pressure
Popis výsledku v původním jazyce
We performed the thin films deposition using atmospheric pressure plasma enhanced chemical vapour deposition (AP-PECVD) by means of a microwave plasma jet operating with mixtures of argon and tetrakis(trimethylsilyloxy)silane (TTMS).
Název v anglickém jazyce
PECVD of nanostructured SiO2 in a modulated microwave plasma jet at atmospheric pressure
Popis výsledku anglicky
We performed the thin films deposition using atmospheric pressure plasma enhanced chemical vapour deposition (AP-PECVD) by means of a microwave plasma jet operating with mixtures of argon and tetrakis(trimethylsilyloxy)silane (TTMS).

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika
J. Phys. D: Appl. Phys.
ISSN
0022-3727
e-ISSN
—
Svazek periodika
46
Číslo periodika v rámci svazku
33
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
8
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000322784200010
EID výsledku v databázi Scopus
—

Podobné výsledky(10)