GROWTH OF SILICON NANOWIRES BY THERMAL ANNEALING OF THICK GOLD CATALYTIC LAYER ON SILICON SUBSTRATE UNDER DIFFERENT ATMOSPHERES

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F15%3A00090296" target="_blank" >RIV/00216224:14310/15:00090296 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

GROWTH OF SILICON NANOWIRES BY THERMAL ANNEALING OF THICK GOLD CATALYTIC LAYER ON SILICON SUBSTRATE UNDER DIFFERENT ATMOSPHERES

Popis výsledku v původním jazyce

Silicon nanowires (Si NWs) were grown from Si wafer upon thermal annealing in the presence of catalytic gold layer. The Si substrate coated with 100 nm thick Au sputtered layer was thermally annealed at 1000 degrees C for 60 min in argon and hydrogen atmosphere at 8 kPa. The influence of argon and hydrogen atmospheres on the growth of Si NWs was investigated. It was found that by using the hydrogen atmosphere we were able to grow Si NWs, while the growth in argon atmosphere was sporadic. The catalytic layer morphology and composition were examined using atomic force microscopy and laser desorption-ionization time of flight mass spectrometry, while nanowire structure was observed through scanning electron microscope and energy dispersive X-ray spectroscopy.

Název v anglickém jazyce

GROWTH OF SILICON NANOWIRES BY THERMAL ANNEALING OF THICK GOLD CATALYTIC LAYER ON SILICON SUBSTRATE UNDER DIFFERENT ATMOSPHERES

Popis výsledku anglicky

Silicon nanowires (Si NWs) were grown from Si wafer upon thermal annealing in the presence of catalytic gold layer. The Si substrate coated with 100 nm thick Au sputtered layer was thermally annealed at 1000 degrees C for 60 min in argon and hydrogen atmosphere at 8 kPa. The influence of argon and hydrogen atmospheres on the growth of Si NWs was investigated. It was found that by using the hydrogen atmosphere we were able to grow Si NWs, while the growth in argon atmosphere was sporadic. The catalytic layer morphology and composition were examined using atomic force microscopy and laser desorption-ionization time of flight mass spectrometry, while nanowire structure was observed through scanning electron microscope and energy dispersive X-ray spectroscopy.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BE - Teoretická fyzika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

NANOCON 2015: 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOMATERIALS - RESEARCH &amp; APPLICATION

ISBN

9788087294635

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

79-84

Název nakladatele

TANGER LTD

Místo vydání

SLEZSKA

Místo konání akce

Brno, CZECH REPUBLIC

Datum konání akce

14. 10. 2015

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000374708800012