Impact of Sputtered Species Ionization on Hysteresis Curve Shape – Model and Experiment

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F17%3A00095254" target="_blank" >RIV/00216224:14310/17:00095254 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Impact of Sputtered Species Ionization on Hysteresis Curve Shape – Model and Experiment
Popis výsledku v původním jazyce
During the last decade the HiPIMS has shown great promise in the field of reactive thin film deposition. In the reactive HiPIMS (R-HiPIMS), the discharge power is delimited within short energetic pulses which, in addition to an enhanced ionization of the sputtered species, also leads to an enhanced dissociation of the reactive gas molecules resulting in an increasing gas reactivity with the surface, which is ultimately beneficial for the thin film formation.
Název v anglickém jazyce
Impact of Sputtered Species Ionization on Hysteresis Curve Shape – Model and Experiment
Popis výsledku anglicky
During the last decade the HiPIMS has shown great promise in the field of reactive thin film deposition. In the reactive HiPIMS (R-HiPIMS), the discharge power is delimited within short energetic pulses which, in addition to an enhanced ionization of the sputtered species, also leads to an enhanced dissociation of the reactive gas molecules resulting in an increasing gas reactivity with the surface, which is ultimately beneficial for the thin film formation.

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění
2017
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)