Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Study of self-organization in HiPIMS plasma, spoke merging and splitting

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F19%3A00109249" target="_blank" >RIV/00216224:14310/19:00109249 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Study of self-organization in HiPIMS plasma, spoke merging and splitting

  • Popis výsledku v původním jazyce

    High power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) is a promising physical vapour deposition (PVD) technique, utilizing short pulses (several 10 s of microseconds) to deliver the power into the discharge. It is characterized by a very high concentration of ions in the deposition flux and it does not create macro-particles, unlike the arc deposition process. HiPIMS plasma manifests a self-organization into the ionization zones called spokes, rotating above the racetrack area of the target (the race track being the area on the target with the highest erosion induced by the sputtering) in both clockwise and anticlockwise E cross B direction depending on current density.

  • Název v anglickém jazyce

    Study of self-organization in HiPIMS plasma, spoke merging and splitting

  • Popis výsledku anglicky

    High power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) is a promising physical vapour deposition (PVD) technique, utilizing short pulses (several 10 s of microseconds) to deliver the power into the discharge. It is characterized by a very high concentration of ions in the deposition flux and it does not create macro-particles, unlike the arc deposition process. HiPIMS plasma manifests a self-organization into the ionization zones called spokes, rotating above the racetrack area of the target (the race track being the area on the target with the highest erosion induced by the sputtering) in both clockwise and anticlockwise E cross B direction depending on current density.

Klasifikace

  • Druh

    O - Ostatní výsledky

  • CEP obor

  • OECD FORD obor

    10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2019

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů