Kombinace optických metod a mikroskopie atomové síly pro zkoumání systémů tenkých vrstev

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14330%2F05%3A00013181" target="_blank" >RIV/00216224:14330/05:00013181 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/48399108:_____/05:#0000009

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Combination of optical methods and atomic force microscopy at characterization of thin film systems

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper the examples of combined analytical methods usable for the characterization of thin film systems are presented. As the optical methods variable angle spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry are used. It is shown that these methods can be employed for the complete determination of both the optical and material parameters of the materials forming the films. Moreover, it is shown that using the combined methods of AFM and the optical methods specified it is also possible todetermine the values of the parameters characterizing some defects of the film systems under investigation. Discussion of the reliability of the methods enabling us to determine the values of the statistical quantities describing the boundary roughnessof the thin films is also presented. A detailed attention is devoted to the results achieved for these quantities by atomic force microscopy for very finely rough film boundaries (i.e. nanometrically rough boundaries). The practical meani

Název v anglickém jazyce

Combination of optical methods and atomic force microscopy at characterization of thin film systems

Popis výsledku anglicky

In this paper the examples of combined analytical methods usable for the characterization of thin film systems are presented. As the optical methods variable angle spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry are used. It is shown that these methods can be employed for the complete determination of both the optical and material parameters of the materials forming the films. Moreover, it is shown that using the combined methods of AFM and the optical methods specified it is also possible todetermine the values of the parameters characterizing some defects of the film systems under investigation. Discussion of the reliability of the methods enabling us to determine the values of the statistical quantities describing the boundary roughnessof the thin films is also presented. A detailed attention is devoted to the results achieved for these quantities by atomic force microscopy for very finely rough film boundaries (i.e. nanometrically rough boundaries). The practical meani

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Acta physica slovaca

ISSN

0323-0465

e-ISSN

—

Svazek periodika

55

Číslo periodika v rámci svazku

3

Stát vydavatele periodika

SK - Slovenská republika

Počet stran výsledku

24

Strana od-do

271-294

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—