Fabrication of nanostructures by AFM local Oxidation

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F01%3APU23138" target="_blank" >RIV/00216305:26210/01:PU23138 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Fabrication of nanostructures by AFM local Oxidation

Popis výsledku v původním jazyce

In the paper AFM studies of microstructures etched by ion beams into Si and Au surfaces, and AFM local anodic oxidation of Ti thin films is presented. Using the AFM technique the etching limits of inert atoms in production of silicon and silver grids were found. It was proved that the height of Ti oxide lines fabricated by AFM increases linearly with the voltage between a tip and a sample. On the other hand, the half-width of the lines did not depend linearly on this voltage. The results are useful forrstudies of quantum effects in nanostructures and experiments in fabrication of nanoelectronic devices (e.g. SET).

Název v anglickém jazyce

Fabrication of nanostructures by AFM local Oxidation

Popis výsledku anglicky

In the paper AFM studies of microstructures etched by ion beams into Si and Au surfaces, and AFM local anodic oxidation of Ti thin films is presented. Using the AFM technique the etching limits of inert atoms in production of silicon and silver grids were found. It was proved that the height of Ti oxide lines fabricated by AFM increases linearly with the voltage between a tip and a sample. On the other hand, the half-width of the lines did not depend linearly on this voltage. The results are useful forrstudies of quantum effects in nanostructures and experiments in fabrication of nanoelectronic devices (e.g. SET).

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Sborník příspěvků konference Nové trendy ve fyzice

ISBN

80-214-1992-X

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

394-399

Název nakladatele

FEI VUT v Brně

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno, FEI VUT

Datum konání akce

15. 11. 2001

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—