Application of AFM in microscopy and fabrication of micro/nanostructures.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F02%3A12020098" target="_blank" >RIV/68081731:_____/02:12020098 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Application of AFM in microscopy and fabrication of micro/nanostructures.

Popis výsledku v původním jazyce

Atomic force microscopy (AFM) studies of microstructures made by ion beams on Si and Au surfaces and by AFM local anodic oxidation on Ti thin filmsis presented in the paper. By using the AFM technique, etching limits of inert atoms in the production of silicon and silver grids were found. It was proved thet the height of Ti oxide lines fabricated by AFM increases linearly with the voltage between a tip and a sample. On the other hand, thehalf-width of the lines did not depend linearly on this voltage. The results are useful for experiments in the fabrication of nanoelectronic devices (e.g. single-electron transistors).

Název v anglickém jazyce

Application of AFM in microscopy and fabrication of micro/nanostructures.

Popis výsledku anglicky

Atomic force microscopy (AFM) studies of microstructures made by ion beams on Si and Au surfaces and by AFM local anodic oxidation on Ti thin filmsis presented in the paper. By using the AFM technique, etching limits of inert atoms in the production of silicon and silver grids were found. It was proved thet the height of Ti oxide lines fabricated by AFM increases linearly with the voltage between a tip and a sample. On the other hand, thehalf-width of the lines did not depend linearly on this voltage. The results are useful for experiments in the fabrication of nanoelectronic devices (e.g. single-electron transistors).

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2002

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and interface analysis

ISSN

0142-2421

e-ISSN

—

Svazek periodika

34

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

352-355

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—