In-situ analýza ultratenkých vrstev Ga užitím ToF-LEIS
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F06%3APU62922" target="_blank" >RIV/00216305:26210/06:PU62922 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
In situ Analysis of Ga-ultra Thin Films by ToF-LEIS
Popis výsledku v původním jazyce
In the paper the ability of TOF-LEIS to monitor the growth of ultrathin Ga layers in situ is presented. The FWHM of the Ga peaks in the TOF-LEIS spectra showed a linear dependence on Ga coverage. The analysis of the Ga growth on two Si(111) substrates cleaned in two distinct ways (chemical etching and UHV thermal flashing) revealed changes in the Si peak evolution caused by different growth modes taking place on these two substrates. This has been proved by ex situ AFM measurements as well.
Název v anglickém jazyce
In situ Analysis of Ga-ultra Thin Films by ToF-LEIS
Popis výsledku anglicky
In the paper the ability of TOF-LEIS to monitor the growth of ultrathin Ga layers in situ is presented. The FWHM of the Ga peaks in the TOF-LEIS spectra showed a linear dependence on Ga coverage. The analysis of the Ga growth on two Si(111) substrates cleaned in two distinct ways (chemical etching and UHV thermal flashing) revealed changes in the Si peak evolution caused by different growth modes taking place on these two substrates. This has been proved by ex situ AFM measurements as well.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2006
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B
ISSN
0168-583X
e-ISSN
—
Svazek periodika
249
Číslo periodika v rámci svazku
1-2
Stát vydavatele periodika
CZ - Česká republika
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
318-321
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—