Optická charakterizace absorbujících tenkých vrstev neuniformních v tloušťce pomocí zobrazovací spektroskopické reflektometrie

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F08%3APU75024" target="_blank" >RIV/00216305:26210/08:PU75024 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical characterization of absorbing thin films non-uniform in thickness using imaging spectroscopic reflectometry

Popis výsledku v původním jazyce

Application of the imaging spectroscopic reflectometry to the optical characterization of non-uniform absorbing carbon-nitride thin films is presented. It is possible to determine the area distribution of the optical constants of the non-uniform films together with their thickness distribution using this technique.

Název v anglickém jazyce

Optical characterization of absorbing thin films non-uniform in thickness using imaging spectroscopic reflectometry

Popis výsledku anglicky

Application of the imaging spectroscopic reflectometry to the optical characterization of non-uniform absorbing carbon-nitride thin films is presented. It is possible to determine the area distribution of the optical constants of the non-uniform films together with their thickness distribution using this technique.

Druh

O - Ostatní výsledky

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů