Scintilační detektor sekundárních elektronů pro EREM se dvěma tlak omezujícími clonami

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F09%3APR24254" target="_blank" >RIV/00216305:26220/09:PR24254 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Scintilační detektor sekundárních elektronů pro EREM se dvěma tlak omezujícími clonami

Popis výsledku v původním jazyce

Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop. Scintilátor detektoru je umístěn v prostoru, odděleném od komory mikroskopu dvěma tlak omezujícími clonami, jednotlivé prostory detektoru jsou samostatně vakuově čerpány, což umožňuje dosáhnout tlak u scintilátoru řádově jednotek Pa při tlaku v komoře vzorku 1000 Pa. Tlak jednotek Pa dovoluje přivést na scintilátor napětí až 10 kV, potřebné k vybuzení scintilací. K tlak omezujícím clonám je přiloženo napětířádově stovek voltů a jsou využity jako elektrostatická čočka pro směrování drah sekundárních elektronů ke scintilátoru.

Název v anglickém jazyce

Scintillation SE detector for ESEM with two pressure limitting appertures

Popis výsledku anglicky

Scintillation secondary electrons detector for environmental scanning electron microscope. Scintillator of the detector is placed in a room separated from the specimen chamber by two pressure limitting appertures, individual rooms of the detector are separatelly vacuum pumped. This enables to reach pressure of several Pa at the scintillator room while the pressure in the specimen chamber is about 1000 Pa and to connect voltage of 10 kV to the scintillator. Pressure limitting appertures with voltages ofabout hundred volts create an electrostatic lens and route trajectories of secondary electrons to the scintillator. sekundárních elektronů ke scintilátoru.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

SD-EREM

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop pracující s vyššími tlaky v komoře vzorku. Funkční vzorek je využíván na pracovišti řešitele na Ústavu přístrojové techniky AV ČR

Ekonomické parametry

Výzkum

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

00216305

Název vlastníka

Ústav elektrotechnologie

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Požadavek na licenční poplatek

—

Adresa www stránky s výsledkem

—