Detektor sekundárních elektronů pro environmentální SEM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F05%3A00047261" target="_blank" >RIV/68081731:_____/05:00047261 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Detektor sekundárních elektronů pro environmentální SEM

Popis výsledku v původním jazyce

Byl vyvinut scintilační detektor umožňující detekci sekundárních elektronů v rastrovacích elektronových mikroskopech pracujících s tlaky v komoře vzorku až 1000 Pa (environmentální rastrovací elektronové mikroskopy). Systém tlak omezujících clon detektoru a oddělené vakuové čerpání jednotlivých prostorů detektoru zabezpečí funkci scintilátoru při vyšším tlaku v komoře vzorku, současně elektrodový systém detektoru umožňuje přivést sekundární elektrony z komory vzorku ke scintilátoru.

Název v anglickém jazyce

Secondary electrons detector for environmental SEM

Popis výsledku anglicky

Scintillation detector has been developed for the detection of secondary electrons in scanning electron microscopes that work with pressure up to 1000 Pa in the specimen chamber. System of pressure limiting apertures and separate vacuum pumping of individual rooms of the detector allow to maintain function of the scintillator at higher pressure in the specimen chamber. Simultaneously, the electrode system of the detector allows to pass secondary electrons through the detector to the scintillator.

Druh

X - Nezařazeno

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA102%2F05%2F0886" target="_blank" >GA102/05/0886: Výzkum detekčních systémů pravých sekundárních elektronů v nově koncipovaném environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů