Scintillation SE detector for variable pressure scanning electron microscopes

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F10%3A00350812" target="_blank" >RIV/68081731:_____/10:00350812 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216305:26220/10:PU88618

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Scintillation SE detector for variable pressure scanning electron microscopes

Popis výsledku v původním jazyce

We present results obtained with a new scintillation detector of secondary electrons for the variable pressure scanning electron microscope. A detector design is based on the positioning of a single crystal scintillator within a scintillator chamber separated from the specimen chamber by two apertures. This solution enables us to decrease the pressure to several Pa in the scintillator chamber while the pressure in the specimen chamber reaches values of about 1000 Pa (7.5 Torr). Due to decreased pressure, we can apply a potential of the order of several kV to the scintillator, which is necessary for the detection of secondary electrons. Simultaneously, the two apertures at appropriate potentials of the order of several hundreds of volts create an electrostatic lens that allows electrons to pass from the specimen chamber to the scintillator chamber. Results indicate a promising utilization of this detector for a wide range of specimen observations.

Název v anglickém jazyce

Scintillation SE detector for variable pressure scanning electron microscopes

Popis výsledku anglicky

We present results obtained with a new scintillation detector of secondary electrons for the variable pressure scanning electron microscope. A detector design is based on the positioning of a single crystal scintillator within a scintillator chamber separated from the specimen chamber by two apertures. This solution enables us to decrease the pressure to several Pa in the scintillator chamber while the pressure in the specimen chamber reaches values of about 1000 Pa (7.5 Torr). Due to decreased pressure, we can apply a potential of the order of several kV to the scintillator, which is necessary for the detection of secondary electrons. Simultaneously, the two apertures at appropriate potentials of the order of several hundreds of volts create an electrostatic lens that allows electrons to pass from the specimen chamber to the scintillator chamber. Results indicate a promising utilization of this detector for a wide range of specimen observations.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GAP102%2F10%2F1410" target="_blank" >GAP102/10/1410: Studium vlivu magnetického a elektrostatického pole na zesílení signálu sekundárních elektronů detekovaných novým detektorem pro VP-SEM.</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2010

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Microscopy

ISSN

0022-2720

e-ISSN

—

Svazek periodika

239

Číslo periodika v rámci svazku

3

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000280994900007

EID výsledku v databázi Scopus

—