Modifikovaný scintilační detektor sekundárních elektronů pro VP-SEM se dvěma tlak omezujícími clonami a mřížkou odsávající SE od vzorku

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F10%3APR24675" target="_blank" >RIV/00216305:26220/10:PR24675 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Modifikovaný scintilační detektor sekundárních elektronů pro VP-SEM se dvěma tlak omezujícími clonami a mřížkou odsávající SE od vzorku

Popis výsledku v původním jazyce

Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop. Scintilátor detektoru je umístěn v prostoru, odděleném od komory mikroskopu dvěma tlak omezujícími clonami. Jednotlivé prostory detektoru jsou samostatně vakuově čerpány, což umožňuje dosáhnout tlak u scintilátoru řádově jednotek Pa při tlaku v komoře vzorku 1000 Pa. Tlak jednotek Pa dovoluje přivést na scintilátor napětí až 10 kV, potřebné k vybuzení scintilací. K tlak omezujícím clonám je přiloženo napětířádově stovek voltů a jsou využity jako elektrostatická čočka pro směrování drah sekundárních elektronů ke scintilátoru. Mřížka s kladným potenciálem, umístěná na vstupu detektoru, slouží k odsávání SE od vzorku a zajišťuje funkčnost detektoru též při tlacích pod 1 Pa.

Název v anglickém jazyce

Scintillation SE detector for VP-SEM with two pressure limitting appertures and grid for draining of SEs from specimen

Popis výsledku anglicky

Scintillation secondary electrons detector for variable pressure scanning electron microscope. Scintillator of the detector is placed in a room separated from the specimen chamber by two pressure limitting apertures, individual rooms of the detector areseparately vacuum pumped. It enables to reach pressure of several Pa at the scintillator room while the pressure in the specimen chamber is about 1000 Pa and to connect voltage of 10 kV to the scintillator. Pressure limitting apertures with voltage of about hundred volts create an electrostatic lens and route trajectories of secondary electrons to the scintillator. Special grid at the entry of the detector with a positive voltage drains secondary electrons from the specimen to the detector and ensures detection of secondary electrons also at pressures under 1 Pa.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2010

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

SD pro VP-SEM

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Funkční vzorek je využíván na pracovišti řešitele na Ústavu přístrojové techniky AV ČR, Královopolská 147, 612 64 Brno. Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentálnírastrovací elektronový mikroskop pracující s

Ekonomické parametry

výzkum

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

00216305

Název vlastníka

Ústav elektrotechnologie

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Požadavek na licenční poplatek

—

Adresa www stránky s výsledkem

—