Scintilační detektor v environmentální SEM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F05%3A00022402" target="_blank" >RIV/68081731:_____/05:00022402 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Scintillation Detector in Environmental SEM

Popis výsledku v původním jazyce

The article deals with the concept of secondary electron scintillation detector in Environmental SEM. For secondary electrons detection by scintillation detector, the voltage of about 10 kV attached to the conductive surface layer of the scintillator accelerates secondary electrons to give them sufficient energy for efficient scintillation. However, presence of this voltage requires pressure less than 5 Pa in the scintillator room to avoid discharges. Therefore, our design of secondary electron detectoris based on scintillator location in a room with low pressure. This room is separated from the specimen chamber by the system of pressure limiting apertures that allow pass secondary electrons and inhibit the gas flow. The rooms between the apertures and scintillator are vacuum pumped. The results show that this detector provides new possibilities of electrons detection in Environmental SEM.

Název v anglickém jazyce

Scintillation Detector in Environmental SEM

Popis výsledku anglicky

The article deals with the concept of secondary electron scintillation detector in Environmental SEM. For secondary electrons detection by scintillation detector, the voltage of about 10 kV attached to the conductive surface layer of the scintillator accelerates secondary electrons to give them sufficient energy for efficient scintillation. However, presence of this voltage requires pressure less than 5 Pa in the scintillator room to avoid discharges. Therefore, our design of secondary electron detectoris based on scintillator location in a room with low pressure. This room is separated from the specimen chamber by the system of pressure limiting apertures that allow pass secondary electrons and inhibit the gas flow. The rooms between the apertures and scintillator are vacuum pumped. The results show that this detector provides new possibilities of electrons detection in Environmental SEM.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA102%2F05%2F0886" target="_blank" >GA102/05/0886: Výzkum detekčních systémů pravých sekundárních elektronů v nově koncipovaném environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings - Microscopy Conference 2005 - Dreiländertagung /6./

ISBN

1019-6447

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

44

Název nakladatele

Paul Scherrer Institute

Místo vydání

Villigen

Místo konání akce

Davos

Datum konání akce

28. 8. 2005

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—