Detection of Secondary Electrons by Scintillation Detector in Variable Pressure Scanning Electron Microscopes

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F10%3A00353046" target="_blank" >RIV/68081731:_____/10:00353046 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Detection of Secondary Electrons by Scintillation Detector in Variable Pressure Scanning Electron Microscopes

Popis výsledku v původním jazyce

Detection of signal electrons at a higher pressure in the specimen chamber of a variable pressure scanning electron microscope (VP SEM) is commonly based on ionization and scintillation types of detectors. Detection of secondary electrons by the scintillation detector requires adding a voltage up to 10 kV to the scintillator. Secondary electrons accelerated in an electric field with this voltage acquire sufficient energy to generate photons in the scintillation material. Because of problems with electric discharges originating at higher pressures of gases in the specimen chamber of VP SEM, the scintillator of the secondary electron detector has to be positioned in a special room with a pressure up to several Pa, while pressures in the specimen chambermay reach 1 000 Pa. Such detectors where the scintillator is placed in a separately evaporated room were published by Slowko and Jacka et al.

Název v anglickém jazyce

Detection of Secondary Electrons by Scintillation Detector in Variable Pressure Scanning Electron Microscopes

Popis výsledku anglicky

Detection of signal electrons at a higher pressure in the specimen chamber of a variable pressure scanning electron microscope (VP SEM) is commonly based on ionization and scintillation types of detectors. Detection of secondary electrons by the scintillation detector requires adding a voltage up to 10 kV to the scintillator. Secondary electrons accelerated in an electric field with this voltage acquire sufficient energy to generate photons in the scintillation material. Because of problems with electric discharges originating at higher pressures of gases in the specimen chamber of VP SEM, the scintillator of the secondary electron detector has to be positioned in a special room with a pressure up to several Pa, while pressures in the specimen chambermay reach 1 000 Pa. Such detectors where the scintillator is placed in a separately evaporated room were published by Slowko and Jacka et al.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GAP102%2F10%2F1410" target="_blank" >GAP102/10/1410: Studium vlivu magnetického a elektrostatického pole na zesílení signálu sekundárních elektronů detekovaných novým detektorem pro VP-SEM.</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2010

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 17th IFSM International Microscopy Congress

ISBN

978-85-63273-06-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

—

Název nakladatele

Sociedade Brasileira de Microscopia e Microanilise

Místo vydání

Rio de Janeiro

Místo konání akce

Rio de Janeiro

Datum konání akce

19. 9. 2010

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—