Noise of Ta2O5 and Nb2O5 thin insulating films in the temperature range 10 K to 400 K

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F11%3APU96227" target="_blank" >RIV/00216305:26220/11:PU96227 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Noise of Ta2O5 and Nb2O5 thin insulating films in the temperature range 10 K to 400 K

Popis výsledku v původním jazyce

We have performed investigation of noise and transport mechanisms in insulating films of Ta2O5 and Nb2O5 from the point of view of their application as dielectric layers in capacitors, MOS devices, etc. These dielectric films show high relative permittivity, low leakage current density of the order of nA/cm2 in the electric field 1MV/cm, and high breakdown field of the order of 3-4 MV/cm. Analysis of I-V characteristics performed as a function of temperature allows the identification of dominant conduction mechanisms and corresponding noise sources. Ta2O5 films of the thickness about 28 nm and Nb2O5 thin films of the thickness about 150 nm were investigated. Tunneling current mechanism is dominant for the temperatures below 200 K. In this temperature range current noise spectral density is 1/f type. Poole-Frenkel and Schottky current transport mechanism is dominant for temperatures higher than 350 K. 1/f noise is pronounced in the frequency range bellow 20 Hz, while in the range 20 to

Název v anglickém jazyce

Noise of Ta2O5 and Nb2O5 thin insulating films in the temperature range 10 K to 400 K

Popis výsledku anglicky

We have performed investigation of noise and transport mechanisms in insulating films of Ta2O5 and Nb2O5 from the point of view of their application as dielectric layers in capacitors, MOS devices, etc. These dielectric films show high relative permittivity, low leakage current density of the order of nA/cm2 in the electric field 1MV/cm, and high breakdown field of the order of 3-4 MV/cm. Analysis of I-V characteristics performed as a function of temperature allows the identification of dominant conduction mechanisms and corresponding noise sources. Ta2O5 films of the thickness about 28 nm and Nb2O5 thin films of the thickness about 150 nm were investigated. Tunneling current mechanism is dominant for the temperatures below 200 K. In this temperature range current noise spectral density is 1/f type. Poole-Frenkel and Schottky current transport mechanism is dominant for temperatures higher than 350 K. 1/f noise is pronounced in the frequency range bellow 20 Hz, while in the range 20 to

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of ICNF 2011

ISBN

978-1-4577-0191-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

490-493

Název nakladatele

IEEE

Místo vydání

Kanada

Místo konání akce

Toronto, Kanada

Datum konání akce

12. 6. 2011

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—