Morphology and structural investigation of aluminum nitride layers prepared by magnetron sputtering

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F13%3APU103517" target="_blank" >RIV/00216305:26220/13:PU103517 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Morphology and structural investigation of aluminum nitride layers prepared by magnetron sputtering

Popis výsledku v původním jazyce

Aluminum nitride thin films were obtained by magnetron sputtering of aluminum target. The films surface was studied by atomic force microscopy and scanning electron microscopy. Using of buffer nitridized layer on the substrate allowed the formation of perfect structure films. Lateral force atomic force microscopy was used to study the morphology heterogeneity. The dependence of films structure on the formation conditions has been defined. The objective of the study is to contribute to the improvement oftechnological process of dry etching and film deposition.

Název v anglickém jazyce

Morphology and structural investigation of aluminum nitride layers prepared by magnetron sputtering

Popis výsledku anglicky

Aluminum nitride thin films were obtained by magnetron sputtering of aluminum target. The films surface was studied by atomic force microscopy and scanning electron microscopy. Using of buffer nitridized layer on the substrate allowed the formation of perfect structure films. Lateral force atomic force microscopy was used to study the morphology heterogeneity. The dependence of films structure on the formation conditions has been defined. The objective of the study is to contribute to the improvement oftechnological process of dry etching and film deposition.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2013

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 19th Conference Student EEICT 2013

ISBN

978-80-214-4695-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

134-138

Název nakladatele

Litera, Tabor 43a, 61200 Brno

Místo vydání

Brno University of Technology

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

25. 4. 2013

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—