Substrate Preparation for Manufacturing of Aluminum Nitride Layers

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F13%3APU106025" target="_blank" >RIV/00216305:26220/13:PU106025 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Substrate Preparation for Manufacturing of Aluminum Nitride Layers

Popis výsledku v původním jazyce

Aluminum nitrides layers prepared on sapphire substrates are examined. The substrate surface was treated by dry plasma etching. The morphology of aluminum nitride thin films was studied by atomic force microscopy. Lateral force atomic force microscopy was used to study the morphology heterogeneity. The dependence of films morphology on the formation conditions has been defined. The objective of the study contributes to the improvement of technological process of dry etching and film deposition.

Název v anglickém jazyce

Substrate Preparation for Manufacturing of Aluminum Nitride Layers

Popis výsledku anglicky

Aluminum nitrides layers prepared on sapphire substrates are examined. The substrate surface was treated by dry plasma etching. The morphology of aluminum nitride thin films was studied by atomic force microscopy. Lateral force atomic force microscopy was used to study the morphology heterogeneity. The dependence of films morphology on the formation conditions has been defined. The objective of the study contributes to the improvement of technological process of dry etching and film deposition.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2013

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

ElectroScope - http://www.electroscope.zcu.cz

ISSN

1802-4564

e-ISSN

—

Svazek periodika

2013

Číslo periodika v rámci svazku

5

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

1-5

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—