Study of Dry Etching Process for Substrates Preparation

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F13%3APU105512" target="_blank" >RIV/00216305:26220/13:PU105512 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Study of Dry Etching Process for Substrates Preparation

Popis výsledku v původním jazyce

This study describes the process of sapphire and silicon carbide substrates preparation by dry plasma etching. Processed substrates was studied by interferometry to define the etch depth and by atomic force microscopy to study the morphology and statistical analysis of surface roughness before and after etching. This allowed determining the optimal conditions of the process.

Název v anglickém jazyce

Study of Dry Etching Process for Substrates Preparation

Popis výsledku anglicky

This study describes the process of sapphire and silicon carbide substrates preparation by dry plasma etching. Processed substrates was studied by interferometry to define the etch depth and by atomic force microscopy to study the morphology and statistical analysis of surface roughness before and after etching. This allowed determining the optimal conditions of the process.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/ED2.1.00%2F03.0072" target="_blank" >ED2.1.00/03.0072: Centrum senzorických, informačních a komunikačních systémů (SIX)</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2013

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

International Interdisciplinary PhD Workshop 2013

ISBN

978-80-214-4759-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

60-64

Název nakladatele

Brno University of Technology

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

8. 9. 2013

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—