AFM imaging and fractaí analysis of surface roughness of AlN epilayers deposited on saphire substrate

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F13%3APU106136" target="_blank" >RIV/00216305:26220/13:PU106136 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

AFM imaging and fractaí analysis of surface roughness of AlN epilayers deposited on saphire substrate

Popis výsledku v původním jazyce

Aluminum nitride (AlN) is a direct wide band gap semiconductor which attracts much attention due to wide range of application and its unique properties. AlN thin films were obtained by magnetron sputtering of aluminum target. The quality of AlN surface topography plays important role in various optoelectronic devices. To understand how the effect of temperature changes the epilayers surface, the surface topography is characterized through atomic force microscopy (AFM) and fractal analysis.

Název v anglickém jazyce

AFM imaging and fractaí analysis of surface roughness of AlN epilayers deposited on saphire substrate

Popis výsledku anglicky

Aluminum nitride (AlN) is a direct wide band gap semiconductor which attracts much attention due to wide range of application and its unique properties. AlN thin films were obtained by magnetron sputtering of aluminum target. The quality of AlN surface topography plays important role in various optoelectronic devices. To understand how the effect of temperature changes the epilayers surface, the surface topography is characterized through atomic force microscopy (AFM) and fractal analysis.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2013

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of 8th Solid State Surfaces and Interfaces

ISBN

978-80-223-3501-0

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

33-34

Název nakladatele

Comenius University

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

Snolenice

Datum konání akce

18. 11. 2013

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—