INFLUENCE OF SCANNING RATE ON QUALITY OF AFM IMAGE: STUDY OF SURFACE STATISTICAL METRICS
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F17%3APU124490" target="_blank" >RIV/00216305:26220/17:PU124490 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/jemt.22945/epdf" target="_blank" >http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/jemt.22945/epdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1002/jemt.22945" target="_blank" >10.1002/jemt.22945</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
INFLUENCE OF SCANNING RATE ON QUALITY OF AFM IMAGE: STUDY OF SURFACE STATISTICAL METRICS
Popis výsledku v původním jazyce
The purpose of this work is to study the dependence of AFM-data reliability on scanning rate. The three-dimensional (3-D) surface topography of the samples with different micro-motifs is investigated. The analysis of surface metrics for estimation of artifacts from inappropriate scanning rate is presented. Fractal analysis was done by cube counting method and evaluation of statistical metrics was carrying out on the basis of AFM-data. Combination of quantitate parameters is also presented in graphs for every measurement. The results indicate that the sensitivity to scanning rate growths with fractal dimension of the sample. This approach allows describing the distortion of the images against scanning rate and could be applied for dependences on the other measurement parameters. The paper explains the relevance and comparison of fractal and statistical surface parameters for characterization of data distortion caused by inappropriate choice of scanning rate.
Název v anglickém jazyce
INFLUENCE OF SCANNING RATE ON QUALITY OF AFM IMAGE: STUDY OF SURFACE STATISTICAL METRICS
Popis výsledku anglicky
The purpose of this work is to study the dependence of AFM-data reliability on scanning rate. The three-dimensional (3-D) surface topography of the samples with different micro-motifs is investigated. The analysis of surface metrics for estimation of artifacts from inappropriate scanning rate is presented. Fractal analysis was done by cube counting method and evaluation of statistical metrics was carrying out on the basis of AFM-data. Combination of quantitate parameters is also presented in graphs for every measurement. The results indicate that the sensitivity to scanning rate growths with fractal dimension of the sample. This approach allows describing the distortion of the images against scanning rate and could be applied for dependences on the other measurement parameters. The paper explains the relevance and comparison of fractal and statistical surface parameters for characterization of data distortion caused by inappropriate choice of scanning rate.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
20201 - Electrical and electronic engineering
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2017
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Microscopy research and technique
ISSN
1059-910X
e-ISSN
1097-0029
Svazek periodika
80
Číslo periodika v rámci svazku
7
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
11
Strana od-do
1-11
Kód UT WoS článku
000419168300010
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85034067831