Spectroscopic Observation of Low Pressure Plasma Deposition of Thin Silane and Siloxane Based Films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26310%2F03%3APU38246" target="_blank" >RIV/00216305:26310/03:PU38246 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Spectroscopic Observation of Low Pressure Plasma Deposition of Thin Silane and Siloxane Based Films

Popis výsledku v původním jazyce

The main part of this work is focused on the identification of the spectra measured during the plasma deposition using the vinyltriethoxysilane in a continual regime and also in a pulsed regime with the varied relative pulse duration and during deposition with an amount of oxygen added in various ratios. The next part is focused on spectroscopic observation during the plasma deposition using the hexamethyldisiloxane and ?×-metacryloxyprophyltrimethoxysilane.

Název v anglickém jazyce

Spectroscopic Observation of Low Pressure Plasma Deposition of Thin Silane and Siloxane Based Films

Popis výsledku anglicky

The main part of this work is focused on the identification of the spectra measured during the plasma deposition using the vinyltriethoxysilane in a continual regime and also in a pulsed regime with the varied relative pulse duration and during deposition with an amount of oxygen added in various ratios. The next part is focused on spectroscopic observation during the plasma deposition using the hexamethyldisiloxane and ?×-metacryloxyprophyltrimethoxysilane.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of ISPC XVI

ISBN

NEUVEDENO

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

1-6

Název nakladatele

IUPAC

Místo vydání

Taormina

Místo konání akce

Taormina

Datum konání akce

21. 6. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—