Spectroscopic monitoring of low pressure plasma deposition of Silane and Siloxane based thin films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26310%2F03%3APU38274" target="_blank" >RIV/00216305:26310/03:PU38274 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Spectroscopic monitoring of low pressure plasma deposition of Silane and Siloxane based thin films

Popis výsledku v původním jazyce

The main part of this work is focused on the identification of the spectra measured during the plasma deposition using the vinyltriethoxysilane in a continual regime and also in a pulsed regime with the varied relative pulse duration and during deposition with an amount of oxygen added in various ratios. The next part is focused on spectroscopic observation during the plasma deposition using the hexamethyldisiloxane and gamma-metacryloxyprophyltrimethoxysilane.

Název v anglickém jazyce

Spectroscopic monitoring of low pressure plasma deposition of Silane and Siloxane based thin films

Popis výsledku anglicky

The main part of this work is focused on the identification of the spectra measured during the plasma deposition using the vinyltriethoxysilane in a continual regime and also in a pulsed regime with the varied relative pulse duration and during deposition with an amount of oxygen added in various ratios. The next part is focused on spectroscopic observation during the plasma deposition using the hexamethyldisiloxane and gamma-metacryloxyprophyltrimethoxysilane.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 12th Annual Conference of Doctoral Students - WDS 2003

ISBN

80-86732-18-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

441-445

Název nakladatele

MATFYZPRESS

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Praha

Datum konání akce

10. 6. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—