Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Mechanical properties of plasma-polymerized tetravinylsilane films

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26310%2F11%3APU96898" target="_blank" >RIV/00216305:26310/11:PU96898 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Mechanical properties of plasma-polymerized tetravinylsilane films

  • Popis výsledku v původním jazyce

    Continuous stiffness measurement (CSM) and dynamic contact module (DCM) nanoindentation measurements were used to characterize the mechanical properties of plasma-polymerized tetravinylsilane films deposited by PECVD at RF powers ranging from 10 to 70 W.The Youngs modulus and hardness as a function of the indenter displacement (5-500 nm) were investigated for films of 1-micron thickness. The Youngs modulus (hardness) was observed to increase from 8.3 GPa (0.9 GPa) to 58 GPa (9.5 GPa) with enhanced RF power. Nanoindentation analysis together with AFM imaging revealed a grain character of films deposited at a higher power. Finite element analysis was used to simulate nanoindentation measurements and evaluate properties of the elastic-plastic material.

  • Název v anglickém jazyce

    Mechanical properties of plasma-polymerized tetravinylsilane films

  • Popis výsledku anglicky

    Continuous stiffness measurement (CSM) and dynamic contact module (DCM) nanoindentation measurements were used to characterize the mechanical properties of plasma-polymerized tetravinylsilane films deposited by PECVD at RF powers ranging from 10 to 70 W.The Youngs modulus and hardness as a function of the indenter displacement (5-500 nm) were investigated for films of 1-micron thickness. The Youngs modulus (hardness) was observed to increase from 8.3 GPa (0.9 GPa) to 58 GPa (9.5 GPa) with enhanced RF power. Nanoindentation analysis together with AFM imaging revealed a grain character of films deposited at a higher power. Finite element analysis was used to simulate nanoindentation measurements and evaluate properties of the elastic-plastic material.

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

  • CEP obor

    CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2011

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Plasma Processes and Polymers

  • ISSN

    1612-8850

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    8

  • Číslo periodika v rámci svazku

    2

  • Stát vydavatele periodika

    DE - Spolková republika Německo

  • Počet stran výsledku

    9

  • Strana od-do

    138-146

  • Kód UT WoS článku

  • EID výsledku v databázi Scopus