Mechanical properties of plasma-polymerized tetravinylsilane films
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26310%2F11%3APU96898" target="_blank" >RIV/00216305:26310/11:PU96898 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Mechanical properties of plasma-polymerized tetravinylsilane films
Popis výsledku v původním jazyce
Continuous stiffness measurement (CSM) and dynamic contact module (DCM) nanoindentation measurements were used to characterize the mechanical properties of plasma-polymerized tetravinylsilane films deposited by PECVD at RF powers ranging from 10 to 70 W.The Youngs modulus and hardness as a function of the indenter displacement (5-500 nm) were investigated for films of 1-micron thickness. The Youngs modulus (hardness) was observed to increase from 8.3 GPa (0.9 GPa) to 58 GPa (9.5 GPa) with enhanced RF power. Nanoindentation analysis together with AFM imaging revealed a grain character of films deposited at a higher power. Finite element analysis was used to simulate nanoindentation measurements and evaluate properties of the elastic-plastic material.
Název v anglickém jazyce
Mechanical properties of plasma-polymerized tetravinylsilane films
Popis výsledku anglicky
Continuous stiffness measurement (CSM) and dynamic contact module (DCM) nanoindentation measurements were used to characterize the mechanical properties of plasma-polymerized tetravinylsilane films deposited by PECVD at RF powers ranging from 10 to 70 W.The Youngs modulus and hardness as a function of the indenter displacement (5-500 nm) were investigated for films of 1-micron thickness. The Youngs modulus (hardness) was observed to increase from 8.3 GPa (0.9 GPa) to 58 GPa (9.5 GPa) with enhanced RF power. Nanoindentation analysis together with AFM imaging revealed a grain character of films deposited at a higher power. Finite element analysis was used to simulate nanoindentation measurements and evaluate properties of the elastic-plastic material.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Plasma Processes and Polymers
ISSN
1612-8850
e-ISSN
—
Svazek periodika
8
Číslo periodika v rámci svazku
2
Stát vydavatele periodika
DE - Spolková republika Německo
Počet stran výsledku
9
Strana od-do
138-146
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—