Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition of SiO2-Like Films: Monitoring and Optimization of the Process
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26310%2F12%3APU105242" target="_blank" >RIV/00216305:26310/12:PU105242 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition of SiO2-Like Films: Monitoring and Optimization of the Process
Popis výsledku v původním jazyce
This work focuses on high density thin films deposited by PECVD using hexamethyldisiloxane precursor. Optical emission spectroscopy was used for plasma diagnostics. Oxygen transmission rate and infrared spectra of deposited layers were measured. Optimalexperimental conditions for low carbon content layers and layers with good barrier properties were determined.
Název v anglickém jazyce
Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition of SiO2-Like Films: Monitoring and Optimization of the Process
Popis výsledku anglicky
This work focuses on high density thin films deposited by PECVD using hexamethyldisiloxane precursor. Optical emission spectroscopy was used for plasma diagnostics. Oxygen transmission rate and infrared spectra of deposited layers were measured. Optimalexperimental conditions for low carbon content layers and layers with good barrier properties were determined.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
AC - Archeologie, antropologie, etnologie
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/DF11P01OVV004" target="_blank" >DF11P01OVV004: Plazmochemické procesy a technologie pro konzervaci kovových archeologických předmětů</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Studentská odborná konference Chemie je život 2012, Sborník příspěvků
ISBN
978-80-214-4644-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
405-408
Název nakladatele
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Brno
Datum konání akce
7. 12. 2012
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—