DEMO SAMPLE (PROTOTYPE ) ? V001/TA01010078 - W750S01/S00 SOI Wafers / 3 ?m
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F26821532%3A_____%2F12%3A%230000036" target="_blank" >RIV/26821532:_____/12:#0000036 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
DEMO SAMPLE (PROTOTYPE ) ? V001/TA01010078 - W750S01/S00 SOI Wafers / 3 ?m
Popis výsledku v původním jazyce
Prototype (sample) of Bond and Grind Back Silicon-On-Insulator (BGSOI) wafer. BGSOI wafer diameter 150 mm, CZSi substrate sligthly doped by Boron (3-13 ohmcm), thickness 625 or 525 um, BOX (buried oxide layer) 620 nm, defect-free device layer thickness 3+/- 0.3 um. Crystallographic orientation (100). Bonded interface: BOX/device layer. Back side surface: thermal oxide > 200 nm.
Název v anglickém jazyce
DEMO SAMPLE (PROTOTYPE ) ? V001/TA01010078 - W750S01/S00 SOI Wafers / 3 ?m
Popis výsledku anglicky
Prototype (sample) of Bond and Grind Back Silicon-On-Insulator (BGSOI) wafer. BGSOI wafer diameter 150 mm, CZSi substrate sligthly doped by Boron (3-13 ohmcm), thickness 625 or 525 um, BOX (buried oxide layer) 620 nm, defect-free device layer thickness 3+/- 0.3 um. Crystallographic orientation (100). Bonded interface: BOX/device layer. Back side surface: thermal oxide > 200 nm.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
JJ - Ostatní materiály
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/TA01010078" target="_blank" >TA01010078: Struktury SOI pro pokročilé polovodičové aplikace</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
V001/TA01010078-W750S01/S00
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Diameter 150 mm, substrate CZSi:B 3-13 ohmcm, (100), THK 625 or 525 um, BOX 620 nm, defect-free DL THK 3 +/- 0.3 um.
Ekonomické parametry
Wafer costs < 60 USD.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
26821532
Název vlastníka
ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o., právní nástupce
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—