Mass Spectrometry of Processing Plasma during Plasma Oxidation

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F01%3A00001432" target="_blank" >RIV/44555601:13430/01:00001432 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Mass Spectrometry of Processing Plasma during Plasma Oxidation

Popis výsledku v původním jazyce

The monitoring of plasma gas guantitative composition during plasma oxidation of thin metal films was investigated by guadrupole mass spectrometry. A sampling gas system was developed for transportation and pressure reducion of the process gas from the discharge tube to the guadrupole mass spectrometer. The QMS spectra of gas samples extracted from discharge tube were measured in flowing regime for a discharge. The software for mass spectra analysis was developed, tested and used for the mass spectra evaluation. A few sets of data measured during plasma oxidation illustrate the performance of the sampling gas system as a sensitive QMS system which provides an important information on process parameters.

Název v anglickém jazyce

Mass Spectrometry of Processing Plasma during Plasma Oxidation

Popis výsledku anglicky

The monitoring of plasma gas guantitative composition during plasma oxidation of thin metal films was investigated by guadrupole mass spectrometry. A sampling gas system was developed for transportation and pressure reducion of the process gas from the discharge tube to the guadrupole mass spectrometer. The QMS spectra of gas samples extracted from discharge tube were measured in flowing regime for a discharge. The software for mass spectra analysis was developed, tested and used for the mass spectra evaluation. A few sets of data measured during plasma oxidation illustrate the performance of the sampling gas system as a sensitive QMS system which provides an important information on process parameters.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/OC%20527.50" target="_blank" >OC 527.50: Studium tenkých polymerních vrstev pomocí AFM a rozvoj metod diagnostiky plazmatu.</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proc. 7th European Vacuum Conference and 3rd European Topical Conference on Hard Coatings -EVC - 7 and ETCH - 3

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

61

Název nakladatele

Aseva

Místo vydání

Madrid

Místo konání akce

Madrid, Španělsko

Datum konání akce

17. 9. 2001

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—