Study of Oxygen Plasma Using Mass Spectrometry during Plasma Oxidation of Aluminium Thin Films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F01%3A00001434" target="_blank" >RIV/44555601:13430/01:00001434 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Study of Oxygen Plasma Using Mass Spectrometry during Plasma Oxidation of Aluminium Thin Films

Popis výsledku v původním jazyce

For a number of applications of plasma in surface processing it is helpful to know the nature and the relative abundance of neutral species presented in the plasma. This is also our ease in the plasma oxidation process using oxygen or oxygen/argon plasmas. This work deals with a use of guadrupole mass spectrometer (QMS) which embodies a residual gas analyzer (RGA) or an on-line gas analysis system to sample high-pressure gases. The system was used for detection of neutral species effusing from the discharge tube during plasma processing. Analysis of QMS spectra can give detailed information about changes of the plasma gas composition inside the discharge tube and conseguently about the stability and reproducibility of plasma conditions.

Název v anglickém jazyce

Study of Oxygen Plasma Using Mass Spectrometry during Plasma Oxidation of Aluminium Thin Films

Popis výsledku anglicky

For a number of applications of plasma in surface processing it is helpful to know the nature and the relative abundance of neutral species presented in the plasma. This is also our ease in the plasma oxidation process using oxygen or oxygen/argon plasmas. This work deals with a use of guadrupole mass spectrometer (QMS) which embodies a residual gas analyzer (RGA) or an on-line gas analysis system to sample high-pressure gases. The system was used for detection of neutral species effusing from the discharge tube during plasma processing. Analysis of QMS spectra can give detailed information about changes of the plasma gas composition inside the discharge tube and conseguently about the stability and reproducibility of plasma conditions.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Symposium Proceedings of 13th SAPP - Symposium on Application of Plasma Processes

ISBN

80-223-1573-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

124-125

Název nakladatele

Universita Komenského

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

Tále, Nízké Tatry, Slovenská republika

Datum konání akce

15. 1. 2001

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—