AFM Investigations of SnO2 Thin Films Prepared by Plasma Oxidation

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F01%3A00001470" target="_blank" >RIV/44555601:13430/01:00001470 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

AFM Investigations of SnO2 Thin Films Prepared by Plasma Oxidation

Popis výsledku v původním jazyce

In this work, we have studied surface properties of SnO2 thin films produced by thermal evaporation of Sn films followed by in situ plasma oxidation. The dependence of surface properties on technological parameters was studied by Atomic Force Microscopy(AFM). The experimental results describe the dependence of surface topology on substrate properties, on evaporating conditions and on parameters of plasma oxidation (e.g. plasma parameters, oxidation time and voltage bias applied to the substrate duringoxidation).

Název v anglickém jazyce

AFM Investigations of SnO2 Thin Films Prepared by Plasma Oxidation

Popis výsledku anglicky

In this work, we have studied surface properties of SnO2 thin films produced by thermal evaporation of Sn films followed by in situ plasma oxidation. The dependence of surface properties on technological parameters was studied by Atomic Force Microscopy(AFM). The experimental results describe the dependence of surface topology on substrate properties, on evaporating conditions and on parameters of plasma oxidation (e.g. plasma parameters, oxidation time and voltage bias applied to the substrate duringoxidation).

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/OK%20401" target="_blank" >OK 401: Studium technologických procesů za asistence plazmatu</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proc. 7th European Vacuum Conference and 3rd European Topical Conference on Hard Coiatings - EVC - 7 and ETCH - 3

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

101

Název nakladatele

Aseva

Místo vydání

Madrid

Místo konání akce

Madrid

Datum konání akce

17. 9. 2001

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—