Plasma Oxidation of Thin Metal Films - Experiment and Modelling

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F02%3A00001952" target="_blank" >RIV/44555601:13430/02:00001952 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Plasma Oxidation of Thin Metal Films - Experiment and Modelling

Popis výsledku v původním jazyce

Plasma oxidation, utilising oxygen or oxygen/argon plasma, is one of the low temperature techniques used to grow of dielectric films on metal and semiconductor surfaces. In this work, we have studied surface properties of Al2O3 and SnO2 thin films prepared by plasma oxidation. The oxidPe surface structure was measured by Atomic Force Microscopy (AFM). The composition, thickness and stoichiometry of oxide films were measured by Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS). The experimental techniques arecombined with computer experiment, which was used in order to discuss the importance of various physical and chemical processes taking part during the plasma oxidation of metals. This computer experiment consists of set of models following various stages of real experiment.

Název v anglickém jazyce

Plasma Oxidation of Thin Metal Films - Experiment and Modelling

Popis výsledku anglicky

Plasma oxidation, utilising oxygen or oxygen/argon plasma, is one of the low temperature techniques used to grow of dielectric films on metal and semiconductor surfaces. In this work, we have studied surface properties of Al2O3 and SnO2 thin films prepared by plasma oxidation. The oxidPe surface structure was measured by Atomic Force Microscopy (AFM). The composition, thickness and stoichiometry of oxide films were measured by Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS). The experimental techniques arecombined with computer experiment, which was used in order to discuss the importance of various physical and chemical processes taking part during the plasma oxidation of metals. This computer experiment consists of set of models following various stages of real experiment.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/OC%20527.50" target="_blank" >OC 527.50: Studium tenkých polymerních vrstev pomocí AFM a rozvoj metod diagnostiky plazmatu.</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2002

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Conference Proceedings of Joint Conference ESCAMPIG 16

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

351-352

Název nakladatele

Centre national de la recherche scientifique

Místo vydání

Grenoble, Francie

Místo konání akce

Grenoble, Francie

Datum konání akce

14. 7. 2002

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—