Study of Argon/Oxygen Plasma Used for Creation of Aluminium Oxide Thin Films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F99%3A00000557" target="_blank" >RIV/44555601:13430/99:00000557 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Study of Argon/Oxygen Plasma Used for Creation of Aluminium Oxide Thin Films

Popis výsledku v původním jazyce

The aim of this work was to investigate the structure of insulating layers grown in a low temperature plasma. The experiments were performed in a system for plasma-chemical surface modification of thin films. In our experiments we used a DC discharge orcapacitively coupled RF discharge to generate the plasma in various oxygen/argon mixtures. The main diagnostic techniques applied to determine plasma parameters were the optical and probe diagnostics. The combination of the above mentioned diagnostic techniques enabled to evaluate the influence of plasma parameters during plasma oxidation upon the quality of the aluminium oxide films

Název v anglickém jazyce

Study of Argon/Oxygen Plasma Used for Creation of Aluminium Oxide Thin Films

Popis výsledku anglicky

The aim of this work was to investigate the structure of insulating layers grown in a low temperature plasma. The experiments were performed in a system for plasma-chemical surface modification of thin films. In our experiments we used a DC discharge orcapacitively coupled RF discharge to generate the plasma in various oxygen/argon mixtures. The main diagnostic techniques applied to determine plasma parameters were the optical and probe diagnostics. The combination of the above mentioned diagnostic techniques enabled to evaluate the influence of plasma parameters during plasma oxidation upon the quality of the aluminium oxide films

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/OK%20401" target="_blank" >OK 401: Studium technologických procesů za asistence plazmatu</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

1999

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Superficies Y Vacio

ISSN

—

e-ISSN

—

Svazek periodika

9

Číslo periodika v rámci svazku

Diciembre

Stát vydavatele periodika

XX - osoby bez státní příslušnosti

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—