Modelování interakce plazmatu s povrchem během procesu plazmové oxidace

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13440%2F05%3A00003091" target="_blank" >RIV/44555601:13440/05:00003091 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Modelling of plasma-surface interactions during plasma oxidation process

Popis výsledku v původním jazyce

The complete process of plasma oxidation of metals in oxygen plasma consists of several stages: activation of oxygen in discharge, transport of charged species from undisturbed plasma to metal substrate immersed into the plasma, processes on the surfaceand the growth of oxide layers including the ion transport through growing oxide film. In the contribution the plasma oxidation of aluminium and tin in pure oxygen and in oxygen/argon mixtures is analysed, the methods of study being both the direct measurement and computer simulation.

Název v anglickém jazyce

Modelling of plasma-surface interactions during plasma oxidation process

Popis výsledku anglicky

The complete process of plasma oxidation of metals in oxygen plasma consists of several stages: activation of oxygen in discharge, transport of charged species from undisturbed plasma to metal substrate immersed into the plasma, processes on the surfaceand the growth of oxide layers including the ion transport through growing oxide film. In the contribution the plasma oxidation of aluminium and tin in pure oxygen and in oxygen/argon mixtures is analysed, the methods of study being both the direct measurement and computer simulation.

Druh

A - Audiovizuální tvorba

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/1K04115" target="_blank" >1K04115: Analýza energetických vlivů na růst a mikrostrukturu tenkých vrstev</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

ISBN

—

Místo vydání

Toronto, Canada

Název nakladatele resp. objednatele

Centre for Advanced Coating Technologies, Faculty of Applied

Verze

—

Identifikační číslo nosiče

CD