Application of quadrupole mass spectrometry and gas chromatography for plasma analysis of neutral species of processing plasma

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F03%3A00002321" target="_blank" >RIV/44555601:13430/03:00002321 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Application of quadrupole mass spectrometry and gas chromatography for plasma analysis of neutral species of processing plasma

Popis výsledku v původním jazyce

For a number of applications of plasma surface processing it is helpful to know the nature of the neutral species presented in the plasma. In our experiment the influence of the plasma gas composition on the plasma oxidation process in oxygen and oxygen/argon plasma was studied. The plasma gas phase reaction by-products were determined by using quadrupole mass spectrometry (QMS) and gas chromatography (GC) methods. The analysis of neutral plasma gas phase composition provides an information on changes in the plasma gas composition during the plasma oxidation of thin metal films and consequently on the stability and reproducibility of the plasma process. The experiments were carried out in the system for the plasma-chemical surface modification of thinfilms.

Název v anglickém jazyce

Application of quadrupole mass spectrometry and gas chromatography for plasma analysis of neutral species of processing plasma

Popis výsledku anglicky

For a number of applications of plasma surface processing it is helpful to know the nature of the neutral species presented in the plasma. In our experiment the influence of the plasma gas composition on the plasma oxidation process in oxygen and oxygen/argon plasma was studied. The plasma gas phase reaction by-products were determined by using quadrupole mass spectrometry (QMS) and gas chromatography (GC) methods. The analysis of neutral plasma gas phase composition provides an information on changes in the plasma gas composition during the plasma oxidation of thin metal films and consequently on the stability and reproducibility of the plasma process. The experiments were carried out in the system for the plasma-chemical surface modification of thinfilms.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/OC%20527.50" target="_blank" >OC 527.50: Studium tenkých polymerních vrstev pomocí AFM a rozvoj metod diagnostiky plazmatu.</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of 16th International Symposium on Plasma Chemistry

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

119

Název nakladatele

University of Bari

Místo vydání

Bari

Místo konání akce

Taormina - Italy

Datum konání akce

22. 6. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—