Surface Characterization of Tin Oxide Thin Films for Gas Sensors Prepared by Plasma Oxidation

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F03%3A00002342" target="_blank" >RIV/44555601:13430/03:00002342 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Surface Characterization of Tin Oxide Thin Films for Gas Sensors Prepared by Plasma Oxidation

Popis výsledku v původním jazyce

Thin SnO2 films have wide range of applications (electronics, special coatings, etc.). Mostly, it is used when conductivity and transparency is required or in gas sensors. Tin oxide films of unique properties and of high quality can be prepared usually by techniques such as chemical vapour deposition, spray pyrolysis, evaporation, and sputtering. In this work, we have studied properties of SnO2 thin films produced by a thermal evaporation of Sn films followed by in situ plasma oxidation. The post-deposition analysis of films includes Atomic Force Microscopy (AFM), Rutherford backscattering spectrometry (RBS), Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS).

Název v anglickém jazyce

Surface Characterization of Tin Oxide Thin Films for Gas Sensors Prepared by Plasma Oxidation

Popis výsledku anglicky

Thin SnO2 films have wide range of applications (electronics, special coatings, etc.). Mostly, it is used when conductivity and transparency is required or in gas sensors. Tin oxide films of unique properties and of high quality can be prepared usually by techniques such as chemical vapour deposition, spray pyrolysis, evaporation, and sputtering. In this work, we have studied properties of SnO2 thin films produced by a thermal evaporation of Sn films followed by in situ plasma oxidation. The post-deposition analysis of films includes Atomic Force Microscopy (AFM), Rutherford backscattering spectrometry (RBS), Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS).

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/OC%20527.50" target="_blank" >OC 527.50: Studium tenkých polymerních vrstev pomocí AFM a rozvoj metod diagnostiky plazmatu.</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 14 th Symposium of Application of Plasma Processes

ISBN

80-8040-195-0

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

144-145

Název nakladatele

Military Academy

Místo vydání

Liptovský Mikuláš

Místo konání akce

Liptovský Mikuláš

Datum konání akce

13. 1. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—