Analýza povrchu plazmaticky oxidovaných tenkých vrstev cínu.

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13440%2F05%3A00003099" target="_blank" >RIV/44555601:13440/05:00003099 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Surface characterization of plasma oxidized tin films
Popis výsledku v původním jazyce
In this paper were studied surface properties of SnO2 thin films produced by thermal evaporation of Sn films followed by in situ plasma oxidation with additional substrate heating. The oxide layer properties were investigated by Atomic Force Microscopy (AFM) and Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS). The plasma oxidation with additional substrate heating is a possible alternative method for preparing stochiometric SnO2 layers.
Název v anglickém jazyce
Surface characterization of plasma oxidized tin films
Popis výsledku anglicky
In this paper were studied surface properties of SnO2 thin films produced by thermal evaporation of Sn films followed by in situ plasma oxidation with additional substrate heating. The oxide layer properties were investigated by Atomic Force Microscopy (AFM) and Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS). The plasma oxidation with additional substrate heating is a possible alternative method for preparing stochiometric SnO2 layers.

Projekt
<a href="/cs/project/OC%20527.50" target="_blank" >OC 527.50: Studium tenkých polymerních vrstev pomocí AFM a rozvoj metod diagnostiky plazmatu.</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2005
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

ISBN
—
Místo vydání
Toronto, Kanada
Název nakladatele resp. objednatele
Centre for Advanced Coating Technologies, Faculty of Applied
Verze
—
Identifikační číslo nosiče
CD

Podobné výsledky(10)