Modifikovaný experimentální naprašovací systém OKS

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49610040%3A_____%2F13%3A%2A0000110" target="_blank" >RIV/49610040:_____/13:*0000110 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Modifikovaný experimentální naprašovací systém OKS

Popis výsledku v původním jazyce

Zařízení pro depozici velmi tenkých vrstev založené na principu magnetronového naprašování v reaktivním i nereaktivním módu. Celé zařízení je upraveno pro experimentání práci ve výrobě krystalických solárních článků. Díky dvěma různým katodám, čtyřem pracovním plynům a otočnému stolku nabízí možnost depozice široké škály vrstev (především dielektrických) nebo multivrstev, které jsou nanášeny na solární články k pasivaci jeho povrchu nebo jako antireflexní vrstvy pro zlepšení optických vlastností článků.Kapacita zařízení je 36 křemíkových substrátů velikosti 5". Dosahovaná homogenita vrstev se pohybuje na úrovni 2,5%.

Název v anglickém jazyce

Modified experimental sputtering system OKS

Popis výsledku anglicky

Equipment for the deposition of very thin layers is based on the principle of magnetron sputtering in a reactive and non-reactive mode. The entire device is adapted for experimental work in the production of crystalline solar cells. With two different cathodes, four working gas and the rotary table offers a wide range of deposition layers (especially dielectric) or multilayers, which are applied to the solar cells to the surface passivation or antireflection coatings to improve optical properties of cells. Capacity of 36 silicon substrates size 5 ". Attained homogeneity layers ranges at 2.5%.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/FR-TI1%2F603" target="_blank" >FR-TI1/603: Implementace efektivní technologie nanášení tenkých pasivačních a antireflexních vrstev do výroby krystalických solárních článků</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2013

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu

OKS

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Funkční vzorek - zařízení OKS je experimentální zařízení pro naprašování tenkých dielektrických vrstev na povrch krystalických křemíkových solárních článků za účelem vytvoření antireflexní a pasivační vrstvy. Křemíkové substráty o velikosti 5 palců jsouv počtu 42 ks uloženy na planetovém sedmipatrovém otočném karuselu. Zařízení je vybaveno dvěma terči z různých kovů (např. Al, Ti). Dielektrické vrstvy vznikají v procesu reaktivního naprašování za přítomnosti kyslíku nebo dusíku. Výsledek slouží k vlastnímu využití a byla podepsána Smlouva o využití výsledků výzkumu a vývoje 2012/FR-TI1/603, s MPO ze dne 26.3.2013 . Kontaktní osoba: Ing. Renáta Zetková, tel: 601375825, email: renata.zetkova@solartec.cz

Ekonomické parametry

Funkční vzorek experimentálního zařízení bude využit realizátorem pro vývoj speciálních zákaznických solárních článků s vysokou vzhledovou kvalitou. Funkční vzorek experimentálního zařízení dále bude sloužit jako předloha pro sestavení prototypu produkčního naprašovacího zařízení určeného pro komerční výrobu speciálních typů solárních článků. Výsledek bude využit realizátorem.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

49610040

Název vlastníka

Solartec s.r.o.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—