Properties of reactively sputtered hard Ti(Fe)Nx films
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F49777513%3A23520%2F03%3A00000128" target="_blank" >RIV/49777513:23520/03:00000128 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Properties of reactively sputtered hard Ti(Fe)Nx films
Popis výsledku v původním jazyce
Hard films are successfully used to improve functional properties of cutting tools and their lifetime. Despite this fact, new demands in machining of advance materials, however, require new films with enhanced properties to be developed. This paper reports on results of a systematic investigation of properties of thin Ti(Fe)Nx, films reactively sputtered using an unbalanced dc magnetron. Main advantages of magnetron sputtering are relatively low deposition temperatures and possibility to scale up the deposition process. Important is also the deposition rate aD of the film because it decides on its price. Therefore, this paper is devoted to aD of Ti(Fe)Nx films, their structure and mechanical properties.
Název v anglickém jazyce
Properties of reactively sputtered hard Ti(Fe)Nx films
Popis výsledku anglicky
Hard films are successfully used to improve functional properties of cutting tools and their lifetime. Despite this fact, new demands in machining of advance materials, however, require new films with enhanced properties to be developed. This paper reports on results of a systematic investigation of properties of thin Ti(Fe)Nx, films reactively sputtered using an unbalanced dc magnetron. Main advantages of magnetron sputtering are relatively low deposition temperatures and possibility to scale up the deposition process. Important is also the deposition rate aD of the film because it decides on its price. Therefore, this paper is devoted to aD of Ti(Fe)Nx films, their structure and mechanical properties.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/ME%20529" target="_blank" >ME 529: Nanostrukturní tenké vrstvy</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2003
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
JUNIORMAT ’03
ISBN
80-214-2462-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
12-15
Název nakladatele
University of Technology
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Brno
Datum konání akce
23. 9. 2003
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—